本硕士点由材料工程系相关研究室人员组成，依托三束材料改性联合国家重点实验室。于2003年3月经国务院学位委员会批准设立，为国内本领域率先获准的博士和硕士学位授予单位。本硕士点现有教授4人，副教授3人。研究方向主要包括等离子体材料表面工程、载能束材料表面工程、功能薄膜与涂层、材料腐蚀防护工程、表面工程设计理论和表面工程计算机可视化技术等。拥有等离子体基低能离子注入系统，等离子体/离子束增强沉积系统，固体/气体离子束增强沉积装置，强流脉冲离子束系统，非平衡磁控溅射沉积装置等大型工艺设备。具有自主知识产权的等离子体基低能离子注入技术具有国际领先水平。国内首创的工业型等离子体/离子束增强沉积系统，可以实现精密工模具的表面改性和涂层沉积。TEMP-6型强流脉冲离子束系统是国内唯一的用于材料表面工程的低能离子加速器。该学科点曾获得包括国家技术发明二等奖在内的多项省部级以上科技奖励。现承担国家“863”项目，国家自然科学基金项目等国家和省部级科研项目十多项。与美国、俄国、日本、韩国等国家的相关研究机构开展合作研究和培养研究生。

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